科探儀器設(shè)備 數(shù)字型號(hào)氣體配比器 質(zhì)量流量配比器柜”的詳細(xì)描述:
用途

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)
7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備
8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所

聯(lián)系電話：
聯(lián)系人：李工
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)
KT-S2Z
產(chǎn)品類型
型,快響應(yīng)型,全金屬密封型,數(shù)字型,抗電磁干擾
流量量程
2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
產(chǎn)品精度
±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重復(fù)精度
±0.2% FS
線性
±0.5% F.S.
響應(yīng)時(shí)間
≤0.8sec
工作溫度范圍
(0~50)°C
耐壓
3MPa
密封材料
金屬密封Metal
輸入輸出信號(hào)
(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
電源
±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
閥類型
常開(kāi)或常閉
溫度系數(shù)
Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero:≤±0.05% F.S./℃
零點(diǎn)飄移指標(biāo)
＜0.6%F.S. per year without autozero
電氣連接
Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作壓差范圍
(0.05～0.35) MPa（F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）
漏率
1×10-10atm?cc / sec He（1×10-11 Pa?m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式
雙卡套1/4”(滿量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化學(xué)成分
CrO thickness＞20 Angstroms
表面粗糙度
10μinch
抗電磁干擾
CE
重量
16KG

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