感觀指標包括色度、濁度、臭味、肉眼可見物。這幾個指標是純凈水質(zhì)量控制中基本的指標，其制定的標準值參照了飲用水（即自來水）的標準，而大多廠家生產(chǎn)純凈水的水源是自來水，又經(jīng)過粗濾、精濾和去離子凈化的流程，因此，一般純凈水都能達到國家標準所要求的數(shù)值。

理化指標中較重要的是電導(dǎo)率和高錳酸鉀消耗量。電導(dǎo)率是純凈水的特征性指標，反映的是純凈水的純凈程度以及生產(chǎn)工藝的控制好壞。由于生活飲用水不經(jīng)過去離子純化的過程，因此是不考察此項指標的。而對于純凈水來說“純凈”是其基本的要求，金屬元素和微生物過高，都會導(dǎo)致電導(dǎo)率偏高。所以，電導(dǎo)率越小的水越純凈。

從學(xué)術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學(xué)純度的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達到“微克/升”級。

在純水的制作中，水質(zhì)標準所規(guī)定的各項指標應(yīng)該根據(jù)電子（微電子）元器件（或材料）的生產(chǎn)工藝而定（如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10），但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標準。電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領(lǐng)域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應(yīng)用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。

高純水的水質(zhì)標準中所規(guī)定的各項指標的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質(zhì)的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。

高純水不能作為飲用水的原因主要是，天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產(chǎn)過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì)，在生產(chǎn)高純水的過程中，加入了一些化學(xué)殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。