產(chǎn)品別名 |
蝕刻用氧化釔粉,氧化釔噴涂粉 |
面向地區(qū) |
產(chǎn)地 |
鄭州振中 |
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粒度（目） |
按客戶要求制動 |
目數(shù) |
600 |
品級 |
其它 |
品名 |
氧化釔 |
振中的高純氧化釔（99.9%）是一種團聚燒結(jié)的高純Y2O3粉末，該粉體在極其嚴格的質(zhì)量控制下生產(chǎn)，采用了振中特的分級技術(shù)和熱處理技術(shù)，顆粒尺寸和顆粒強度都被嚴格控制在理想狀態(tài)，確保粉體具備高的純度，涂層白度高，無論在模具鋼還是鋁合金上都可以實現(xiàn)較高的沉積效率，涂層硬度平均超過600HV,在模具鋼上低的涂層孔隙率可以控制到0.4%以下。
高純氧化釔噴涂粉主要應(yīng)用于：半導(dǎo)體晶圓蝕刻機腔室及其零部件表面的陶瓷熔射（等離子噴涂）涂層修復(fù)、TFT液晶面板蝕刻設(shè)備陶瓷熔射涂層處理。以蝕刻機為例需要熔射處理的主要部件如下：蝕刻機內(nèi)腔室壁、 靜電吸盤、聚焦環(huán)、氣體注入器、室襯墊、基板支撐件、介電窗、環(huán)狀構(gòu)件、夾緊裝置、勻氣盤，晶圓罩環(huán)等。
———— 認證資質(zhì) ————
