真空齒輪油泵是用機械方法，使泵的工作室不斷增大或縮小，當工作室的容積變得小時，即與真空泵的入氣管連通，于是氣體就進入逐漸變大的工作室空間；當工作室的容積擴大時，即與入氣管分開，使容積閥就打開，把壓縮氣體通過油層排出。泵腔內(nèi)容積不斷膨脹與壓縮，完成吸氣和排氣過程，使容器內(nèi)氣體逐漸排出達到需要的真空度。真空泵運行時，隨著泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子上兩個縱向槽中的滑片或偏心輪上的滑閥環(huán)，緊貼著定子的內(nèi)壁滑動，轉(zhuǎn)子、滑片與定子內(nèi)壁必然依靠油品的潤滑性避免摩擦副材料的擦傷，利用油品隔離大氣，并帶走因摩擦產(chǎn)生的熱量。
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